애플리케이션-솔루션

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솔루션 개요
솔루션 개요

웨이퍼 다이싱:


매우 작은 회로 구조를 형성하는 일련의 반도체 제조 공정입니다.


이후 절단, 패키징, 테스트를 거쳐 칩으로 만들어지며, 이 칩은 다양한 전자 장치에 널리 사용됩니다. 또한 반도체 칩 제조 공정에서 필수적인 공정입니다. 전체 칩 웨이퍼를 칩 크기에 따라 단일 칩(그레인)으로 분할하는 것을 웨이퍼 다이싱이라고 합니다.


웨이퍼 다이싱 업계에서 기존 다이싱은 다음과 같은 특징을 가지고 있습니다.


● 블레이드 스크라이빙은 웨이퍼 표면에 직접 작용하여 결정 내부에 손상을 입히고, 이로 인해 웨이퍼 칩핑 및 손상이 쉽게 발생할 수 있습니다.


● 블레이드의 두께가 일정하여 스크라이빙 선폭이 더 넓습니다.


● 소모품이 크고 블레이드를 반달마다 교체해야 합니다.


● 환경이 오염되고 절단 후 실리콘 분말이 물에 녹는 문제가 있습니다.



일반적인 응용 프로그램
  • 레이저 스크라이빙은 비접촉 공정으로, 위와 같은 상황을 피할 수 있습니다.
  • 레이저 스크라이빙은 단일 및 이중 메사 글래스 패시베이션 다이오드 웨이퍼 절단에 사용됩니다.
  • 전체 칩 웨이퍼를 칩 크기에 따라 단일 칩(그레인)으로 분할하는 것을 웨이퍼 다이싱이라고 합니다.
고객 혜택
  • 레이저 절단/다이싱에 사용되는 고빔 품질의 파이버 레이저는 칩의 전기적 특성에 미치는 영향이 거의 없으며 다이싱 수율을 향상시킬 수 있습니다.
  • 다양한 두께의 웨이퍼에 적용 가능하며, 호환성과 다용성이 뛰어납니다.
  • 육각형 다이 등과 같이 더욱 복잡한 웨이퍼 칩을 절단할 수 있습니다.
  • 탈이온수가 필요 없고, 공구 마모 문제도 없으며, 24시간 연속 작동이 가능합니다.
 

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